طیف‌سنجی الکترون اوژه (AES)
طیف‌سنجی الکترون اوژه (AES) یکی از روش‌های آنالیز حساس به سطح است. در این روش با تابش یک پرتو الکترونی به سطح نمونه الکترون‌های نمونه از مدار خارج شده و اتم در بازگشت به حالت ابتدایی خود پرتو فلوئوروسانس از خود ساطع می‌کند. پرتو فلوئوروسانس قبل از این که از نمونه خارج شود انرژی خود را به یک الکترون در مدارهای بالاتر منتقل کرده و الکترون مدار بالاتر را از مدار خارج می‌کند. الکترون خارج شده از مدارهای بالاتر را الکترون اوژه می‌نامند که با توجه به این که انرژی این الکترون معادل اختلاف ترازهای انرژی ماده است، به عنوان روشی برای آنالیز عناصر موجود در نمونه شناخته می‌شود. دستگاه طیف سنجی الکترون اوژه از بخش‌های مختلفی تشکیل شده است. بخش اول منبع تولید الکترون است که وظیفه آن تولید جریان پایدار و یکنواخت الکترون است. بخش قرارگیری نمونه که می‌تواند جامد، مایع یا گاز باشد و در نهایت آشکارساز که وظیفه اندازه‌گیری انرژی و تعداد الکترون اوژه را دارد.
تميـز بودن سطح نمونه ی مورد مطالعه و خلاء فوق بالا از ضروريات اين روش است. خلاء فوق بالا از اين جهت ضروری است که الكترونها در محيط آزمایش با ذرات كمتري برخورد داشته باشند و علاوه بر اين آلودگي هاي محيطی نیز كمتر جذب سطح مورد مطالعه شود.
اجزای تشکیلدهنده طیف سنج الکترون اوژه
- منابع تولید الکترون
- تحلیلگر انرژی
- آشکارساز
زمينه هاي مهم دیگری که می توان از این روش استفاده نمود عبارتند از :
- مطالعة روند رشد لايه
- تركيب شيميايي سطح (تحليل الكتروني)
- همچنين آناليز در راستاي عمق نمونـه
کاربرد:
يك طیف سنجی الکترون اوژه اطلاعات متنوعي را در مورد سطح لايه مورد مطالعه در اختیار آزمونگر قرار می دهد امـا اولـين اطلاعاتي كه مي توان به دست آورد نوع عنصر و غلظت نسبي آن عنصر است.
