طيف سنجي الكترون اوژه يك روش آناليز استاندارد در فيزيك سطح و فصل مشـترك هـا می باشد. تميـز  بودن سطح نمونه ی مورد مطالعه و خلاء فوق بالا از ضروريات اين روش است. خلاء فوق بالا از اين جهت ضروری است که الكترونها در محيط آزمایش با ذرات كمتري برخورد داشته باشند و علاوه بر اين آلودگي هاي محيطی نیز كمتر جذب سطح مورد مطالعه شود.

زمينه هاي مهم دیگری که می توان از این روش استفاده نمود عبارتند از :

 مطالعة روند رشد لايه

تركيب شيميايي سطح (تحليل الكتروني)

 همچنين آناليز در راستاي عمق نمونـه

کاربرد:

يك طيف سنجی الكترون اوژه اطلاعات متنوعي را در مورد سطح لايه مورد مطالعه در اختیار آزمونگر قرار می دهد امـا اولـين اطلاعاتي كه مي توان به دست آورد نوع عنصر و غلظت نسبي آن عنصر است.

 

فهرست